文/余秋衡
前言
溅射靶材是利用物理气相沉积技术制备电子薄膜材料的被轰击材料，是沉积薄膜的原材料，广泛应用于半导体芯片、太阳能电池、平板显示、信息存储等领域，其中半导芯片用溅射靶材技术要求最高，具有规模化生产能力的企业数量也相对较少，主要分布在美国、日本等国家和地区。
中国溅射靶材行业起步较晚，目前仍然属于一个较新的行业。在国家“十三五”规划中，高纯溅射靶材被列入其中，成为国家重点支持的对象。
青岛蓝光晶科新材料有限公司（以下简称蓝光晶科）成立于2016年，是大工（青岛）新能源材料技术研究院有限公司旗下孵化的第一家公司，以高纯溅射靶材为主营产品的科技型生产企业，通过核心技术自主研发，形成了以高纯硅溅射靶材为主体的多元化靶材产品系列，并实现了在多晶硅细分领域产品全国第一的目标，公司产品占手机溅射硅膜材料30%以上市场份额，并应用到液晶显示器、LOW-E玻璃等领域，产品已出口欧洲，受到国内外客户的一致好评。
终端产品涉及电子器件、海洋装备等应用领域，并已形成了稳定的产品需求。蓝光晶科以材料为核心，以产品稳定性作为重点，为高纯溅射靶材提供了新的创新点。
厂房及产品样品
创新发展 -- 四大核心技术
1.高纯超低电阻硅材料铸锭技术
针对靶材高纯和低电阻的要求，蓝光晶科提出了“金属杂质和挥发性杂质共除技术”和“母合金结构遗传调控技术”，有效的抑制了金属的反扩散，提高了良率，降低生产成本。
硅硼母合金制备铸锭技术
2.低氧超纯金属提纯冶金制造技术
国内首创了电子束熔炼快速去除杂质氧的技术，利用元素饱和蒸气压原理对铸锭中挥发性杂质进行了高效去除。经过电子束处理后的靶材产品，其P、O、N杂质含量明显优于其他工艺制备的产品。
电子束不同熔炼参数对应的熔池形貌
3.工业化精准调控及产品稳定性控制
确立了目标纯度最小能量法则，通过计算机仿真技术获得了最优匹配关系，指导实现了规模化生产精准调控及产品稳定性控制。很大程度上解决了靶材产品在稳定性上难以控制的问题。
设置石墨衬底后的熔池形貌
4.高效晶硅溅射靶材加工工艺的应用
依靠十余年硅材料研发生产经验，结合溅射靶材产品特性，蓝光晶科新开发一套高效的靶材产品加工工艺，综合加工效率提高2倍以上，产能增加接近 200%，同时硅锭综合利用率提高接近20%。
高效制备工艺流程
公司发展布局
蓝光晶科是青岛市创新创业重点扶持项目单位，青岛蓝色硅谷核心区重点引进机构之一，第六批 “千帆计划”企业，并通过了高新技术企业认证、知识产权管理体系认证，荣获青岛市科学技术奖二等奖、青岛市优秀创业项目、即墨区首届创业大赛一等奖、青岛市创新创业大赛三等奖、中国产学研合作创新成果奖等荣誉。
在高端靶材方面授权专利30余项，牵头制订国家团体标准1项，企业标准8项，发表文章10余篇，并获得了相关科技奖项5项。
机械工业科学技术二等奖
目前蓝光晶科已形成稳定产品供应，产品销售给国内外三十余家客户，2016年靶材及硅材料销售收入1300万，净利润154万，2017年公司成长迅速，截止目前为止完成销售额800余万元，净利润100多万。其中在国内的研发将生产效率提高了10倍，优化阻值达到国际标准要求，并出口韩国德国，应用于iPhoneX等高端设备，产品质量得到客户的广泛认可，目前经中标协批准牵头制定靶材团体标准。
蓝光晶科进一步开拓丰富硅材料产品，研发成功并生产出直径600 毫米的硅电极阶段产品，已通过韩国客户验厂，产品批量出口韩国，进入了半导体硅电极供应链体系，具有广阔的市场前景。
创始人张磊说，他们想打通硅靶成品的全产业链，并向综合性靶材产品拓展。蓝光晶科目前已实现晶硅靶材产品的全产业链覆盖，其技术已成为该细分市场领域的关键集成技术，具有广阔的应用前景，潜在市场规模上亿元，并将进一步拓展金属靶材领域，面向半导体等高端制造领域，公司将围绕“先进制造2025”计划，致力于国内靶材产品先进制造水平提升，在企业盈利同时为中国制造业贡献薄力。
发展现状及规划
团队带头人简介：
张磊，青岛蓝光晶科新材料有限公司的创始人、总经理，大连理工大学2006级校友。长期从事硅材料科技开发及产业化研究，发表文章二十余篇，获得授权专利40余项。张磊团队在大连理工大学“冰山慧谷杯”第二届校友科技创业大赛总决赛中获得了天使组二等奖。
李鹏廷，技术负责人，大连理工大学硕士生导师，长期致力于硅材料冶金再生制造技术及装备开发工作，首创多晶硅定向凝固协同调控提纯技术。
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